用高度規測量平面度跟平行度步驟
2、液平面法:液平面法是用液平面作為測量基準面,液平面由 “連通罐”內的液面構成,然后用傳感器進行測量。此法主要用于測量大平面的平面度誤差。
3、平面度:平晶干涉法:用光學平晶的工作面體現理想平面,直接以干涉條紋的彎曲程度確定被測表面的平面度誤差值。
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